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(그림1) 대기중 입자의 크기
4메가D램을 생산하기 위해서는 0.1μ이상의 입자가 1평방 피트당 1개 이상 존재하지 않아야 한다.대기중에 떠도는 입자들은 모래입자 금속분진 각종 연기 뿐만 아니라 박테리아 바이러스 곰팡이와 같은 매우 작은 미생물 등 무수히 많은 종류가 존재하고 있다. 이들 입자의 크기는 사람이 볼 수 있는 최소 크기인 10μ(1μ=${10}^{-6}$m)...(계속)
글 : 이광수 럭키엔지니어링 설비사업부 산업공학
과학동아 1991년 01호
과학동아 1991년 01호
