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국내 연구진 탄소나노튜브 위치제어 성공

테라급 반도체소자의 실용화 가능성 마련

산화알루미늄 기판에 구멍을 낸 후 그 안에서 탄소나노 튜브를 수직으로 성장시킨 전자현미경 사진. 탄소나노 튜브의 위치제어와 고집적화 문제를 동시에 해결한다.산화알루미늄 기판에 구멍을 낸 후 그 안에서 탄소나노 튜브를 수직으로 성장시킨 전자현미경 사진. 탄소나노 튜브의 위치제어와 고집적화 문제를 동시에 해결한다.

탄소나노튜브가 발견된지 꼭 10년이 흐른 지난 11월. 국내 나노과학연구진이 탄소나노튜브를 반도체소자에 초고집적으로 배열할 수 있는 기술을 세계 최초로 개발했다고 발표했다. 1997년 이후 탄소나노튜브를 이용한 반도체소자가 개발되기 시작했지만, 나노튜브의 위치를 제어하지 못해 실용화에 한계가 있었다.주먹구구식의 배열 방식탄소나노튜브는 두께가 수-수십nm(1...(계속)

글 : 박미용 pmiyong@donga.com

과학동아 2001년 12호

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