더 많은 회로의 집적을 위한 소자와 X-선 부식인쇄(애칭)의 비밀
일본의 가열된 분위기와 함께 미국은 엄청난 용량의 증가를 보장하는 X-선 기술의 개발을 시작했다.현재의 반도체 소자 제조 기술이 한계에 도달했다고 생각하는 과학자들이, 더욱 빠르고 더 큰 용량의 소자를 개발하기 위하여 X-선을 이용하기 시작하면서 반도체 소자 제조에 있어서 우위를 선점하려는 경쟁은 이제 새로운 국면으로 접어 들었다.1990년대 중반에는 이 ...(계속)
글 : 뉴욕타임즈
과학동아 1988년 04호
과학동아 1988년 04호