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VLSI급 반도체의 미세가공 기술
반도체의 상징으로 여겨졌던 실리콘은 고집적화로 인해 물리적 한계를 드러냈다. 이를 대체할 신소재는?반도체 디바이스의 극소화는 전자공학 진보의 상징이다. 그러나 극소화의 한계에 도달한 지금 보다 고밀도 고속의 디바이스를 추구하는 방법이 다양하게 모색되고 있다. 또한 기록장치도 종래의 자성재료를 대체하는 자기광학디스크의 개발도 진행되고 있다. 집적회로...(계속)
글 : 동아일보사 편집부
과학동아 1987년 02호
과학동아 1987년 02호
