트랜지스터 시대(50년대)
진공관을 대체하고 고체반도체산업의 막을 열었다. 증폭작용을 갖는 하나의 회로소자에 불과했다.
IC(직접회로) 시대(1960년대)
인공위성과 항공기에 쓰일 소형·경량화의 필요에 의해 개발, 여러개의 소자를 한개의 칩위에 전기적으로 분리해 만드는 기술에 의해 실현되었다. 회로선폭은 5∼15μ, 직접소자의 수가 1백개 미만의 IC는 SSI, 1천개 미만은 MSI라고 부른다.
LSI(대규모집적회로) 시대(1970년대)
수만개의 소자를 1개의 칩위에 집적하는 등 집적화 경향과 일반 상품에 대한 영향력이 두드러짐. 하나의 컴퓨터 기능을 칩 하나가 수행하는 마이크로프로세서도 등장했다. 회로 선폭은 3∼10μ.
VLSI 시대(1980년 이후)
가공기술과 컴퓨터의 비약에 힘입어 집적도와 기억용량은 눈부시게 늘어났다. 집적 소자수는 10만개 이상, 회로 선폭은 3μ이하이다. 최근에는 회로 선폭1μ 이하의「서브 미크론」기술개발이 활발하다.