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반도체 리소그래피 기술은 빛을 이용해 반도체 표면에 미세한 회로를 그리는 기술로, 기존 사진 리소그래피 한계로 새 기술 개발이 필요한 상황이다. SPM과 같은 나노 리소그래피 연구가 진행 중이며, 나노펜 등이 소규모 시제품 개발에 새 가능성을 제시하고 있다.

반도체는 메모리셀 구성이 초미세화되며 G급 집적도 도달이 예상된다. 트랜지스터, 커패시터를 이용한 D램, 롬이 대표적으며, 고도의 리소그래피 기술이 핵심이다. 양자효과 등 새 기술로 한계 돌파가 기대되며, 반도체 기술은 계속 발전 중이다.

NEC와 공동 연구팀이 지름 2750nm의 초소형 와인잔을 만드는 데 성공했다고 발표했다. 이온빔 리소그래피 기술로 제작된 이 와인잔은 반도체 집적 문제 해결에 기여할 수 있으며, 나노기술의 새로운 가능성을 제시했다.