MEMS는 마이크로미터 단위의 기계 시스템으로 복잡한 기술이 필요하다. 이 기술은 의료용 캡슐 내시경 같은 초소형 로봇에 적용되어 병원 내시경 진찰의 불편함을 해소할 수 있다. 학문적으론 물리학, 화학 등을 바탕으로 중력보다 표면 장력이 우세한 마이크로미터 스케일에서의

최근에 발표된 수직 기록 방식의 하드디스크는 기존 수평 자성 기록 방식보다 동일한 매체에서 최대 10배의 기록용량 증가가 가능하다.

미국 DARPA가 페가수스 방식을 통해 소형통신위성을 발사 성공했다. 이 방식은 공중에서 대형항공기가 매단 3단 로켓을 띄워 분리, 위성을 궤도에 진입시키며 비용효율적이다. 우리나라도 이 방식의 위성 발사를 계획 중이다.