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반도체 공정 기술에서 시작된 MEMS는 초소형 기기를 가능케 하는 기술로, 바이오와 정보통신 분야의 새로운 제품 개발에 사용될 예정이다. 국내 최대 MEMS 프로젝트를 통해 실현 가능성을 확인하고 있다.

MEMS는 마이크로미터 크기의 초소형 정밀기계 제작 기술로, 스마트폰 센서부터 바이오 MEMS 연구까지 다양한 산업에 적용되고 있다. 1970년대 자동차 센서에서 시작해 현재는 인체 진단 및 치료에 이르는 등 융합연구가 활발하며, 서울대 연구실은 이 분야의 선도적 연구를

KAIST 기계공학과 조영호 교수 연구팀은 사람 근육 움직임을 모방하여 나노크기의 구동 기관의 원리를 발굴, 미세한 움직임을 이용한 나노구동 기술 개발에 도전하고 있다. 이를 통해 μm 단위 부품으로 nm급 움직임을 구현하려 하며, 나노기술 발달에 기여할 것으로 예상된다