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2 첨단기술 활약할 무대장치 만든다

극청정 환경 실현하는 진공기술기반구축사업단

진공 상태에서 아르곤 가스를 넣고 전압을 발생시켜 기 판에 금속을 입히는 장치인 스퍼터의 윗부분.진공 상태에서 아르곤 가스를 넣고 전압을 발생시켜 기 판에 금속을 입히는 장치인 스퍼터의 윗부분.

21세기에 들어와 세계적으로 진공기술은 여러 산업 분야에서 핵심기술로 인식되고 있다. 진공기술의 응용분야도 다양화, 다변화되고 있으며 그 수요도 폭발적으로 증가하는 추세다.하지만 아직도 미국, 일본, 유럽 등 선진국이 진공기술에서 절대적인 우위를 점하고 있다. 우리나라는 아직 선진국의 기술을 단순히 수용하는 단계를 벗어나지 못했다. 때문에 반도체 생산량이 ...(계속)

글 : 성대진 진공기술센터 seong@kriss.re.kr

과학동아 2003년 08호

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