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초미세 기계가 일으키는 초대형혁명

반도체 제조공정에서 탄생한 신기술

동전보다 작은 초소형 첨단장비 를 제조하는 MEMS는 단지 부품을 작게 만드는 것만을 의미하지 않는다.동전보다 작은 초소형 첨단장비 를 제조하는 MEMS는 단지 부품을 작게 만드는 것만을 의미하지 않는다.

미래에는 동전보다 작은 초소형 기기들이 지금의 거대 장치를 몰아낼 전망이다. 초소형 제조기술, MEMS가 발전돼 여러 분야에 응용되면서 말이다. 그런데 MEMS는 반도체칩의 공정과정에서 비롯됐다고 한다.혈관에 삽입된 초미세 로봇이 인체 내 환부를 찾아 손상된 세포를 복원하는 영화 속 얘기 같은 미래를 상상해본 적이 있는가. 먼지와 같은 초미세 센서들을 적지...(계속)

글 : 이석한 삼성종합기술원 lsh@ns.sait.samsung.co.kr

과학동아 2002년 02호

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