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4. 반도체 제조·오염물질 처리에 획기적 활용

(표1) 플라스마의 다양한 응용분야(표1) 플라스마의 다양한 응용분야

플라스마는 이미 생활 가까이에 접근하고 있다. 조명 디스플레이 레이저는 물론 고집적 반도체 제조, 신물질 합성, 공해물질 제거에도 활발히 이용되고 있다.자연적으로 존재하거나 인공적으로 만들어지는 플라스마는 그것이 갖는 온도와 밀도로 분류한다. PARTⅠ (표1)에서와 같이 온도는 수천-수억K, 밀도는 단위체적(㎤)당 수${-10}^{25}$개, 압...(계속)

글 : 황기웅 서울대 전기공학과

과학동아 1995년 03호

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