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활용분야 넓혀가는 클린룸기술

미세입자들을 제어한다

(그림1) 대기중 입자의 크기(그림1) 대기중 입자의 크기

4메가D램을 생산하기 위해서는 0.1μ이상의 입자가 1평방 피트당 1개 이상 존재하지 않아야 한다.대기중에 떠도는 입자들은 모래입자 금속분진 각종 연기 뿐만 아니라 박테리아 바이러스 곰팡이와 같은 매우 작은 미생물 등 무수히 많은 종류가 존재하고 있다. 이들 입자의 크기는 사람이 볼 수 있는 최소 크기인 10μ(1μ=${10}^{-6}$m)...(계속)

글 : 이광수 럭키엔지니어링 설비사업부 산업공학

과학동아 1991년 01호

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